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靶材的分類(lèi)及其常見(jiàn)缺陷

2017/11/29 15:24:10 來(lái)源:

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  20世紀90年代以來(lái)靶材已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)有經(jīng)驗化產(chǎn)業(yè),中國及亞太地區靶材的需求占有世界70%以上的市場(chǎng)份額。大量不同的沉積技術(shù)用來(lái)沉積生長(cháng)各種薄膜,而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵,品質(zhì)的好壞對薄膜的意義重大。目前高等品質(zhì)靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn),我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚,在產(chǎn)品質(zhì)量與精細標準上與國外有不少的差距,國內也有許多大學(xué)及研究機構對靶材積較投入了大量鉆研與開(kāi)發(fā),經(jīng)過(guò)這幾年的發(fā)展,珠三角也涌現了一批高新科技靶材廠(chǎng)家,其中少數成為了三星等全部知名企業(yè)的供應商,他們在國內占據了大部分中高等靶材市場(chǎng)份額。

  1靶材應用行業(yè)分類(lèi)

  1.1裝飾、工模具鍍膜行業(yè)靶材鉻靶(Cr),平面鉻靶,噴涂鉻管;

  鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);

  鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);

  鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);

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