20世紀90年代以來(lái)靶材已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)專(zhuān)業(yè)化產(chǎn)業(yè)，中國及亞太地區靶材的需求占有世界70%以上的市場(chǎng)份額。大量不同的沉積技術(shù)用來(lái)沉積生長(cháng)各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，品質(zhì)的好壞對薄膜的意義重大。目前高等品質(zhì)靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn)，我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質(zhì)量與精細標準上與國外有不少的差距，國內也有許多大學(xué)及研究機構對靶材積極投入了大量鉆研與開(kāi)發(fā)，經(jīng)過(guò)這幾年的發(fā)展也涌現了一批在靶材行業(yè)較好的公司和院校。在國內占據了大部分中等和要求不高的靶材市場(chǎng)份額。     在裝飾鍍膜中也有著(zhù)廣泛的應用,獲得光亮、美觀(guān)、;價(jià)廉的塑料，陶瓷表面金屬化制品。廣泛應用于汽車(chē)、摩托車(chē)燈具、工藝美術(shù)、裝潢裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、化妝品、手機、鬧鐘、女式鞋后跟等領(lǐng)域。ITO有著(zhù)多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導體Si上形成勢壘作為SIS結的一層以及抗反射層。銦礦資源集中分布在中國、玻利維亞、俄羅斯等國。日韓美是重要的銦消費國,也是我國原生銦的主要***國。高純?yōu)R射靶材市場(chǎng)規模將超過(guò)160億美元，年復合增長(cháng)率達13%。近年來(lái)，磁控濺射靶材是國家鼓勵和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。對于ITO靶材，我國有銦資源優(yōu)勢。     而Low-E膜層厚度僅為隧穿的10%～20%。合理考慮膜層所含元素對數據的影響，可以大致判斷基底玻璃在缺陷區域內的變化程度。(3)相比基片，由于鍍膜引入了部分的Si，綜合Ca/Na比值下降（鍍膜材料中也不含有Ca），可以判斷是Na含量超出基片正常值而導致缺陷處相應元素含量比值的大幅下降。氧化物靶材。?銅銦鎵硒（CIGS）5N高純鋁靶光伏太陽(yáng)能靶材靶材生產(chǎn)商對工業(yè)鍍膜及相關(guān)制品加工中出現的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS進(jìn)行觀(guān)測。分析并比較缺陷/正常區域在形貌結構、組成上的差異，尋找缺陷成因，進(jìn)而研發(fā)相應的生產(chǎn)及品質(zhì)改進(jìn)辦法。（1）Low-E膜層中不含有Na，以基質(zhì)中的Na作為標定物是相對穩定的。（2）電子束的隧穿達到約1.5m。不會(huì )隨著(zhù)膜系更改、膜層的而發(fā)生元素含量上的變化。陶瓷靶材。     靶材，特別是高純度濺射靶材應用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝（PVD）、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過(guò)在PVD設備中用離子對目標物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱(chēng)為濺射靶材。IGZO，氧化銦錫，氧化鋅鋁，AZO，ITO，氧化錫，二氧化錫，氧化鋯，氧化鉬，氧化鈷，四氧化三鈷，氧化亞鈷，氧化銀，氧化鈣，等高純氧化物。     真空設備檢修三要素的方案：1首先判斷出起主要作用的是什么因素，找到問(wèn)題的所在，從而采取相應的措施加以解決。2真空測量真空測量是指用特定的儀器、對某一真空設備空間內真空度高低的量度。因此真空測量?jì)x表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類(lèi)很多，大體上可分真空計和相對真空計兩大類(lèi)。凡通過(guò)測定物理參數直接計出氣體壓強的真空計稱(chēng)為真空計。通過(guò)測量與壓強有關(guān)物理量，并進(jìn)行計算得到壓強值的真空計稱(chēng)為相對真空計。真空計精度較高，一般作為標準用，在實(shí)際生產(chǎn)中，大都使用相對真空計。     為了防止在加熱時(shí)電極過(guò)熱致使密封，對電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點(diǎn)的金屬鉬片制成舟狀，機械泵：機械泵是利用機械方法來(lái)獲得低真空的主要設備，也是高真空機組的前級泵。機械泵主要有圓柱形定子、偏心轉子和滑動(dòng)翼片組成。機械泵不宜用于抽蒸汽；轉動(dòng)方向必須是順時(shí)針?lè )较?；停止工作后要防?ldquo;返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。擴散泵：當機械泵的極限真空不能滿(mǎn)足工作要求時(shí)，通常采用油擴散真空泵來(lái)獲得高真空。目前靶材市場(chǎng)主要分布于韓國、中國、日本，中國有超過(guò)20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國內的巨大市場(chǎng)潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價(jià)格優(yōu)勢，國內的靶材制造商已經(jīng)在國內市場(chǎng)占有一定的市場(chǎng)份額，并逐步在個(gè)別細分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠(chǎng)的市場(chǎng)空間。