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光刻掩膜版，簡(jiǎn)稱(chēng)掩膜版，是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結構，再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉移到產(chǎn)品基片上。

光學(xué)掩模板是在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精 確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構。掩膜版應用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，如IC（集成電路）、FPD（平板顯示器）、PCB（印刷電路板）、MEMS（微機電系統）等。光掩模板主要由玻璃基板與遮光膜兩部分組成，其中玻璃基板成本占整體材料成本的90%。光掩模玻璃基板是指用于制作光掩模板的空白玻璃，也被稱(chēng)作制版玻璃。

光掩模板材料成本分布

資料來(lái)源：智研咨詢(xún)整理

集成電路是現代化工業(yè)的“大腦”，是國家科技戰略的基礎和工業(yè)發(fā)展的紐帶，集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平從一定程度上反映了國家創(chuàng )新制造水平。目前，國內電子信息產(chǎn)業(yè)持續高速發(fā)展，提升了我國集成電路行業(yè)的景氣度，近年來(lái)，在國家政策的支持下，企業(yè)不斷加大對集成電路的研發(fā)投入，中國集成電路產(chǎn)量不斷擴大，2021年1-11月中國集成電路產(chǎn)量3295.1億塊，同比增長(cháng)37.1%。

2011-2021年11月中國集成電路產(chǎn)量

資料來(lái)源：國家統計局、智研咨詢(xún)整理

二、需求量

近年來(lái)，隨著(zhù)中國集成電路、平板顯示器等行業(yè)的快速發(fā)展，光刻掩膜版需求量不斷增長(cháng)，帶動(dòng)原材料光掩模玻璃基板需求量也逐年增加，2020年中國光掩模玻璃基板需求量為10.0萬(wàn)平方米，2020年增加至11.5萬(wàn)平方米。發(fā)展初期，我國光掩模玻璃基板主要依賴(lài)進(jìn)口，2010年以來(lái)，我國加大了對光掩模玻璃基板研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，我國企業(yè)不再純粹依賴(lài)國外進(jìn)口。

2015-2020年中國光掩模玻璃基板需求量

資料來(lái)源：智研咨詢(xún)整理

與光掩模玻璃基板有關(guān)標準

資料來(lái)源：國家市場(chǎng)監督管理總局、智研咨詢(xún)整理

目前被用來(lái)制作光掩模玻璃基板基本材料包括合成石英、硼硅玻璃和蘇打玻璃等，其中合成石英化學(xué)性質(zhì)最為穩定，具有高硬度、低膨脹系數和透光性強等優(yōu)勢，被廣泛運用到具有較高精度要求的產(chǎn)品生產(chǎn)中，在光掩模玻璃基板需求量材料分布占比中，石英材料占比不斷提升，由2015年的27%提升至2020年的42%。

2020年中國光掩模玻璃基板需求量材料分布

資料來(lái)源：智研咨詢(xún)整理

從應用領(lǐng)域分布來(lái)看，IC、FPD為光掩模玻璃基板主要應用領(lǐng)域，2020年合計占比超總需求量的95%，其中IC光掩模玻璃基板需求量約為5.6萬(wàn)平方米，占比49%；FPD光掩模玻璃基板需求量約為5.3萬(wàn)平方米，占比46.5%。

2015-2020年中國光掩模玻璃基板需求量分布

資料來(lái)源：智研咨詢(xún)整理

隨著(zhù)半導體集成電路（IC）、顯示面板（FPD）和PCB等產(chǎn)業(yè)重心向中國傾斜和轉移，帶動(dòng)我國光掩模板行業(yè)等迅速發(fā)展，作為光掩模板上游的光掩模玻璃基板產(chǎn)業(yè)必受到強有力的拉動(dòng)，尤其是光掩模石英玻璃基板的發(fā)展將進(jìn)一步加快。