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旭硝子開(kāi)發(fā)出再布線(xiàn)層用感光性絕緣膜

2008-12-16 來(lái)源：日經(jīng)BP社

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    旭硝子面向半導體制造工序中的再布線(xiàn)層，新開(kāi)發(fā)出了感光性絕緣膜“AL Polymer X2000系列”。通過(guò)均衡實(shí)現熱特性、電氣特性及機械特性，提高了易用性。將用作鈍化絕緣膜，在其上再布線(xiàn)及設置電較等。

　　該絕緣膜采用旭硝子的氟化學(xué)技術(shù)開(kāi)發(fā)而成。兼具可不向元器件施加負擔的低溫硬化特性（熱處理溫度＋180～250℃）、可提高速度的低介電率特性（相對介電率2.6～2.7）以及可提高接合可靠性的高拉伸特性（伸度20％）。此外，還具有高解像度、平坦及低吸水性，因此可用于趨于微細化及高速化的半導體電路的開(kāi)發(fā)及制造。

　　本品將在旭硝子的千葉工廠(chǎng)進(jìn)行生產(chǎn)，2009年1月開(kāi)始銷(xiāo)售。

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