德國ARNODLD自光纖發(fā)展以來(lái)總是提供MCVD和PCVD基礎車(chē)床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 從事獨立研發(fā)過(guò)程,2005年收購HEATHWAY公司，并與LOGITEX公司合作，我們現在可為研發(fā)過(guò)程提供完整的不銹鋼氣柜系統和光纖拉絲塔。 通用玻璃車(chē)床，自動(dòng)化氣體供應和混合系統，Restoxyd室控制內部壓力，MCVD車(chē)床上可安裝的感應電爐，成為FCVD設備系統 感應電爐移動(dòng)架。 MCVD系統用的噴燈可通過(guò)快速接頭拆卸，感應電爐移動(dòng)架可方便將感應電爐移入設備中間安裝位置。成為FCVD設備系統。 MFC質(zhì)量流量計規格: 數字ProfiBus MFC 典型精度:   ±1%，設定點(diǎn)為20~100% 滿(mǎn)量程　 典型精度:   ±0.2%，為2~２0% 滿(mǎn)量程 重復性：    ± 0.3% 讀數 分辨率：  0.1%滿(mǎn)量程 工作溫度： 10°C ~ 50°C (環(huán)境) FCVD設備中氣體濃度測量系統： (另選） 3個(gè)“Lorex” 氣體傳感器，測量SiCl4, GeCL4, POCl3液氣摻雜物。 通常我們測量重量：xx mg/min 液氣（PoCl3, GeCl3, SiCl4)在載氣（氧氣）中重量。但你也可以計算體積和百分比。 氣體濃度傳感器/輸送控制系統 可重現蒸氣輸送控制的行業(yè)標準。氣體濃度傳感器已成為半導體制造行業(yè)的行業(yè)標準，可用于在 CVD 和 MOCVD 工藝流程中，高精度監控前體化學(xué)蒸氣和摻雜氣體，從而實(shí)現可重現的輸送控制。經(jīng)生產(chǎn)驗證該系統能為您提供：通過(guò)嚴格控制制程氣體和前體化學(xué)蒸氣的輸送，提高工藝的可重現性和良率。通過(guò)更地利用前體化學(xué)品、更充分地利用前體化學(xué)源、降低氣體流向排氣口的時(shí)間，從而降低工序成本。通過(guò)獲取設備和工藝工程師可直接讀取的定量信息，設備間的匹配更為簡(jiǎn)便。通過(guò)內置診斷工具，為氣體和蒸氣輸送系統的故障排除提供幫助。 氣體濃度測量系統 改進(jìn)過(guò)程重復性 增加產(chǎn)量 低成本操作 使得工具-工具匹配方便 方便錯誤診斷，優(yōu)化氣體傳送系統