全自動(dòng)RCA清洗機 適用產(chǎn)業(yè)：半導體等 控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 項目 數 適用對象 硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 基本規格 機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） 選配模塊 l  腐蝕液恒溫系統 l  腐蝕液循環(huán)過(guò)濾系統 l  超（兆聲）系統 l  全自動(dòng)供液系統 l  全自動(dòng)烘干系統 l  消防系統 l  可結合客戶(hù)端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理 機臺特點(diǎn) l  刻蝕工藝自動(dòng)補藥液保證了工藝槽在運行過(guò)程中濃度的穩定性 l  QDR沖洗模塊非常見(jiàn)排序式，可根據制程工藝設定 l  集成自動(dòng)干燥系統 l  管路系統、電氣控制系統、伺服電機及絲杠導軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標準產(chǎn)品 l  保修便利，非庫存品工廠(chǎng)內均建立安全庫存品 l  全程自動(dòng)化控制，幾何曲線(xiàn)加減速運動(dòng)，沖擊小運行平穩，機械臂定位精度高 l  多級別用戶(hù)工藝數據庫，可供用戶(hù)使用和存儲 l  作業(yè)區內有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護相結合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全 l  客制化設計能力佳，搞設計能力滿(mǎn)足客戶(hù)制程工藝需要 機械臂裝置 Robot的工藝路徑種類(lèi) N種（設備出廠(chǎng)前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進(jìn)做出或左進(jìn)右出 制程控制 PLC控制方式 操作界面 全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） 槽體數量 根據制程要求選擇定制 設備制造 蘇州尚純半導體設備有限公司