PSG 磷硅玻璃去除設備 1、設備主要應用于去除爐管制程中產(chǎn)生的磷硅玻璃 2、高產(chǎn)能及低破片率， 提供單晶硅片表面臟污及磷硅玻璃清洗處理 3、采用特殊干燥系統設備，有效降低產(chǎn)品破片率 4、全自動(dòng)補液技術(shù) 5、雙伺服機械手傳送系統，自動(dòng)上／下料工位，排水/進(jìn)水系統實(shí)現全自動(dòng)化，搭配觸控式屏幕，提供操作簡(jiǎn)便的功能性 6、***行走機械臂，運行平穩。全自動(dòng)控制行程模式，優(yōu)良的制程調控能力，穩定的高產(chǎn)出率及低破片率，適用于批量生產(chǎn)線(xiàn)。