石英晶圓的材質(zhì)主要有兩種：熔融石英（fused silica quartz）和單晶石英（single crystal quartz）。熔融石英是玻璃狀的石英,因此是各向同性的。 熔融石英堅硬,具有非常低的熱膨脹系數。熔融石英具有多種類(lèi)型，分別有不同的用途。我們這里介紹三種：JGS1、JGS2、JGS3。l  JGS1，在紫外和可見(jiàn)光波段透明性好，不含氣泡和雜質(zhì)，高能激光領(lǐng)域的使用材料，可用于制作光學(xué)元件：透鏡、棱鏡等。l  JGS2通常用于反射鏡基底，含有較多小氣泡。l  JGS3在紅外波段有很好的透過(guò)率，但是包含很多氣泡。所有的單晶石英都是由一種特殊的籽晶生長(cháng)而成。切割類(lèi)型的不同會(huì )導致籽晶的定位不同。一種類(lèi)型籽晶在晶片內部，名為“With Seed”，另一種類(lèi)型籽晶不在晶片內部，因此命名為“無(wú)籽”。單晶石英可分為三個(gè)區域：X/Y和Z區。無(wú)籽意味著(zhù)晶片處于純X/Y或Z區。經(jīng)常用到的參數是切型，常見(jiàn)的切型：AT-cut、ST-cut、Z-cut等。