日本Lasertec以雙共聚焦光學(xué)系為基礎，搭載微分干涉觀(guān)察，垂直白光干涉測定，相差干涉測定，反射分光膜厚測定等功能，通常多臺設備才能完成的測試，僅需一臺設備即可實(shí)現。    關(guān)鍵詞：激光共聚焦顯微鏡,白光共聚焦顯微鏡,lasertec共聚焦顯微鏡 OPTELICS HYBRID 簡(jiǎn)介： 日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦顯微鏡,將激光和白光源組合在一體,用于多功能高性能共聚顯微鏡.兩組共焦光學(xué)器件與附加器件相結合,包括干涉儀,微分干涉對比觀(guān)察和光譜反射膜厚度測量?jì)x。              集6項功能于一體   應用：各種材料的觀(guān)察和形狀測量可以進(jìn)行毫米級到納米級的非接觸、 非破壞性形狀測量和觀(guān)察。它可以處理廣泛的工業(yè)領(lǐng)域中的各種樣品。 工業(yè)領(lǐng)域： 半導體材料（Si、Sic、抗蝕劑）、器件、電子元件 MEMS、微制造零件、涂層材料 薄膜、無(wú)機材料、光學(xué)元件、薄膜 生物領(lǐng)域： 微流道 導管、劃痕等異物 可用于從研發(fā)領(lǐng)域接近量產(chǎn)的領(lǐng)域。       功能介紹：  白光共聚焦功能                                                   寬視野觀(guān)察提                                     采用白光光源可以獲取高清全彩圖像，有助于觀(guān)察。 激光共聚焦功 高倍率和高分辨觀(guān)察 配備波長(cháng)405nm的半導體激光器、無(wú)需預處理即可清晰采集納米級超精細結構，分辨率堪比電子顯微鏡。                                                                  鈮酸鋰 倍率：11000倍    半導體部件 倍率：3700倍                                                       微分干涉功能 納米級凹凸觀(guān)察     共聚焦和微分干涉對比（DIC）的組合提供了樣品細微缺陷的清晰化觀(guān)察，可不受背面影響的情況下觀(guān)察透明樣品的正面                                        共聚焦觀(guān)察       共聚焦微分干涉觀(guān)察 垂直掃描白光干涉功能 毫米視野下的納米級臺階高度測量     高度分布數據是通過(guò)獲取白光和雙光干涉物鏡在光軸方向掃描時(shí)產(chǎn)生的干涉條紋強度峰值處的z-scale值來(lái)計算的。該方法適用于寬視場(chǎng)測量，因為理論上在任何放大倍數的物鏡下都具有相同的高度測量分辨率。                  1.5mm視野下44nm的測量                            數um高度下10nm-100nm高度測量 相移干涉測量功能 埃米級臺階高度測量     由于單波長(cháng)光和兩光束干涉物鏡產(chǎn)生的干涉條紋是基于樣品表面的光程差分布，因此通過(guò)相位信息分析使用四個(gè)相對于光軸不同位置的干涉條紋圖像來(lái)計算高度分布數據。 反射光膜厚測量功能 納米級透明膜厚測量 使用波長(cháng)選擇功能測量6個(gè)波長(cháng)的反射率，使用光學(xué)模型擬合計算膜厚?？梢詼y量幾納米到1微米的單層/多層膜厚?？梢杂嬎銇單⒚孜⑿^域到幾毫米整個(gè)視場(chǎng)的平均膜厚。此外，由于可以測量每個(gè)像素的膜厚，因此可以測量膜厚分布。 規格參數：