主營(yíng):硅片清洗機,硅片腐蝕設備,硅片腐蝕臺,化學(xué)清洗臺,晶圓清洗機
所在地:
北京 北京 通州區
產(chǎn)品價(jià)格:
電議(大量采購價(jià)格電議)
最小起訂:
0
物流運費:
買(mǎi)家承擔運費
發(fā)布時(shí)間:
2014-07-31
有效期至:
2014-08-30
產(chǎn)品詳細
LED系列-全自動(dòng)有機清洗臺 ※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式;※ 清洗規格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;※ 設備形式: 室內放置型;※ 尺寸(參考,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H);※ 工藝說(shuō)明:全程機械傳動(dòng),自動(dòng)方式實(shí)現槽體間傳送工件全程自動(dòng)化控制,工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性;※ 腐蝕工藝自動(dòng)補藥液保證了工藝槽在運行過(guò)程中濃度的穩定性;※ 工藝參數(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調)手動(dòng)由觸摸屏界面可設定;※ 機臺前方為清洗工作區域,機臺后上方為電器和氣路布置區域,后下方為液路布置區域?!?機械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用***伺服馬達,閉環(huán)控制,定位精度≤0.3mm,可靠性高;※ 采用雙導軌結構及線(xiàn)性模塊傳動(dòng),幾何曲線(xiàn)加減速運動(dòng),沖擊小、運動(dòng)平穩?!?為確保清洗工藝和機械手的使用壽命,機械手由多種工業(yè)材料和特殊的表面處理構成。
北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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